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| Prozeßschritt m; Verfahrensschritt m | |||
| Bearbeitungsschritt m; Verfahrensstufe f | |||
| Arbeitsgang m | |||
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| Verfahrensschritte m; Prozessschritte m | |||
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process step : 16 phrases in 6 subjects |
| General | 3 |
| Materials science | 1 |
| Mechanic engineering | 1 |
| Microelectronics | 7 |
| Optics branch of physics | 3 |
| Pharmacy and pharmacology | 1 |