 |
| |||
| електронно-променева літографія (Yuriy Sokha); електроннопроменева електронна літографія; електронолітографія f (Альтернатива рентгенівській літографії; використовує електрони, забезпечує високу роздільну здатність і не вимагає фотошаблону.) | |||
|
electron- beam lithography : 5 Phrasen in 1 Thematik |
| Mikroelektronik | 5 |