 |
| |||
| електроннопроменева електронна літографія; електронолітографія f (Альтернатива рентгенівській літографії; використовує електрони, забезпечує високу роздільну здатність і не вимагає фотошаблону.) | |||
|
electron lithography : 10 Phrasen in 2 Thematiken |
| Mikroelektronik | 8 |
| Wissenschaftlicher Ausdruck | 2 |