Englisch ⇄ Russisch +

top-bottom technology-based microelectromechanical system Betonungen
Nano.	МЭМС, созданная по технологии "сверху-вниз" (основанной на разрушении массивного материала до уровня наночастиц); МЭМС на основе технологии нисходящего производства