| |||
| ступенчатое нанесение плёнок (каждый последующий слой по площади меньше предыдущего; поперечное сечение готовой структуры имеет ступенчатую форму) | |||
| покрытие ступеньки | |||
| сглаживание ступеньки | |||
|
step coverage : 3 Phrasen in 2 Thematiken |
| Elektronik | 1 |
| Mikroelektronik | 2 |