| |||
ступенчатое нанесение плёнок (каждый последующий слой по площади меньше предыдущего; поперечное сечение готовой структуры имеет ступенчатую форму) | |||
покрытие ступеньки | |||
сглаживание ступеньки |
step coverage : 3 Phrasen in 2 Thematiken |
Elektronik | 1 |
Mikroelektronik | 2 |