 |
| |||
| плазмохимическое травление (управляемое селективное удаление материала с помощью химически активных ионов и радикалов в низкотемпературной плазме низкого давления) | |||
| плазменное травление (процесс травления с использованием в качестве травителя облака ионизированного газа) | |||
| плазменное травление | |||
| |||
| плазмохимическое травление (управляемое селективное удаление материала с помощью химически активных ионов и радикалов в низкотемпературной плазме низкого давления) | |||
| плазменное травление (процесс травления с использованием в качестве травителя облака ионизированного газа) | |||
|
plasma etching : 49 Phrasen in 6 Thematiken |
| Elektronik | 4 |
| Industrie | 1 |
| Makarow | 2 |
| Mikroelektronik | 16 |
| Nanotechnologie | 13 |
| Technik | 13 |