Englisch ⇄ Russisch +

e-beam writing Betonungen
Mikroel.	электронно-лучевое экспонирование (OlgaGast)
Nano.	электронно-лучевая запись; электронно-лучевой перенос изображения с шаблона на пластину (с резистом); запись электронным пучком