Englisch ⇄ Chinesisch Deutsch Russisch Ukrainisch +

direct-write electron-beam lithography Betonungen
el.	электронно-лучевая литография с непосредственным формированием изображений
Massenmed.	бесшаблонное электронно-лучевое экспонирование
Mikroel.	электронно-лучевая литография с непосредственным формированием рисунка