Englisch ⇄ Chinesisch Russisch Ukrainisch +

deep-UV lithography Betonungen
Massenmed.	фотолитография на глубоком жёстком ультрафиолете
Mikroel.	фотолитография на глубоком ультрафиолете (key2russia); фотолитография на жёстком ультрафиолете (key2russia)
deep-uv lithography
el.	фотолитография с источником дальнего УФ-излучения
Mikroel.	литография в глубоком ультрафиолете