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atomic-layer epitaxy Betonungen
Massenmed.	эпитаксия атомарного слоя
atomic layer epitaxy
Makarow.	эпитаксия атомных слоёв; эпитаксия атомных слоев
Englisch Thesaurus
Atomic Layer Epitaxy
Abkürz., Schott.	ALE
IT, Abkürz.	ALE (IC)