Englisch ⇄ Russisch +

PECVD-process Betonungen
Nano.	процесс плазмостимулированного газофазного осаждения; процесс плазмохимического газофазного осаждения; ПХГФО-процесс
PECVD process
Nano.	процесс плазмостимулированного газофазного выращивания