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zu Phrasen
local oxidation of silicon
comp. LOCOS f; lokale Siliziumoxydation (Bipolar-Planar-Technologie)
Mikroel. Lokaloxydation von Silizium (zur Isolation aktiver Bauelemente von hochintegrierten Si-Schaltkreisen)
local oxidation of silicon: 3 Phrasen in 1 Thematik
Mikroelektronik3

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